離子氮化爐設(shè)備是一種利用輝光放電效應(yīng)對金屬零件進(jìn)行氮化處理的電爐設(shè)備。它是一種新的表面熱處理工藝，對提高鋼件的耐磨性、抗疲勞性和耐蝕性具有顯著的作用。

離子氮化爐設(shè)備的工作原理是：將待加工工件放入真空容器中并接陰極，然后將容器內(nèi)部抽真空至10-1Pa，然后注入少量氮?dú)浠旌蠚?在陰極和陽極之間施加一定電壓的直流電，使氣體電離，產(chǎn)生輝光放電。產(chǎn)生的銨離子在電場作用下轟擊工件，將工件表面加熱到所需溫度，同時(shí)俘獲工件表面電子，形成氨化層，具有基本金屬。

工作時(shí)，正離子轟擊陰極使其發(fā)射電子。在電場作用下，電子運(yùn)動速度加快，與氣體分子發(fā)生碰撞，激發(fā)氣體分子發(fā)光并電離。發(fā)射電子少，放電電流小。少發(fā)燒。輝光放電的一個(gè)應(yīng)用實(shí)例是熒光燈。

與普通氣體滲氮爐相比，離子氮化爐設(shè)備有以下優(yōu)點(diǎn)：處理周期短、生產(chǎn)效率高、電耗低;零件變形小，滲氮層無脆性層，處理后無需再加工;適用類型更廣;工作條件好，環(huán)境污染少。但離子氮化爐設(shè)備很難用于小孔內(nèi)壁的氨化處理。在離子氨化的基礎(chǔ)上，正在開發(fā)離子軟氨化、離子滲氮、離子滲碳等工藝。

離子滲氮的優(yōu)點(diǎn)：

1、在真空中進(jìn)行，因此可以獲得無氧化的加工表面，不會破壞被加工工件的表面光潔度。并且由于是低溫加工(從380℃開始可進(jìn)行氮化處理)，加工后的工件變形小，尺寸穩(wěn)定性好，可以滿足精細(xì)模具和高精度零件的要求.對于加工來說，非常適合成品的加工。

2、氣體滲氮時(shí)間長，表面粗糙，硬脆，不耐磨。對于氣體滲氮工件，表面通常出現(xiàn)較厚(大于20um)的化合物層，是由εγ'兩相組成的不均勻混合層，內(nèi)層為擴(kuò)散層。因此，在復(fù)合層中產(chǎn)生三維微應(yīng)力。如果在這個(gè)應(yīng)力的方向上施加一點(diǎn)外力，就會產(chǎn)生微小的裂紋，裂紋會逐漸擴(kuò)大，導(dǎo)致整個(gè)化合物層剝離。

3、由于不銹鋼表面鈍化膜的阻擋，傳統(tǒng)的氣體滲氮前需要進(jìn)行去鈍化處理，因?yàn)楣に嚪浅?fù)雜，而且不易控制，效果也很難，離子滲氮的濺射效應(yīng)無需去鈍化處理即可有效去除這層鈍化膜，因此離子滲氮工藝為不銹鋼表面強(qiáng)化提供了一條新途徑。